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薄膜沉积系统

时间:2012年01月17日

爱派克测试技术(上海)有限公司

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/Files/UploadFiles/ttmn.COM/2011/11/20111108-032521-469.gif薄膜沉积系统
 

 

Nanochrome TM II 采用了垂直“翻盖式”箱体设计,这使得试验箱的所有部件都很方便操作。水冷却/加热的痕迹(traces)加快抽水次数。在操作的同时,您可用潜望镜装置清晰地观察物理气相沉积的来源。试验箱有几个光学路径,可以观察薄膜增厚的过程,能确保实时测量以及控制光学涂层。
多重处理器选项
硬涂层 用于金属或离子辅助介质,金属的磁控溅射,或通过DC或AC反应溅射脉冲射频,电子束蒸发的,离子协助轻松配置到系统中。
低温运行: 潜在的热核聚变会限制沉积,许多薄膜冷却选项可以帮您增加沉积速率。在沉积薄膜时,使用Intlvac离子束基板台直接冷却基板。 随着冷却液直接在基板下循环,单或双轴自转运转。 高温选件 红外加热元件,石英灯阵列和氧气耐加热元件可供选择,以实现高达800°C温度。
用于辅助、反应性运行和预洗涤的离子源
Intlvac为NCII提供种类繁多的离子源。高光束电流和低能量非常适合薄膜致密,清洁,或辅助大的区域。我们提供的新一代的光源是您涂层的理想选择。终端通道栅格源,与高达10安培的离子电流量,在能量低于300eV 时组成栅格。 提供高达一安培RF源和100-1000eV可选择离子能。

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