离子束刻蚀系统 
 

离子束刻蚀系统：
离子束刻蚀系统是为无尘室操作而设计的，Nanoquest II使得蚀刻模块始终呆在无尘室的服务区内。系统元件，如防护物和其他耐用部件，很容易在服务区存取。双门蚀刻模块可以使维修从试验箱的任何一侧开始。UHV设计规则确保该蚀刻模块和负载锁定试验箱有较低的基地压力。高速真空泵不仅提供了快速泵，而且同时也减少了离子束气体的碰撞。

Intlvac 的Nanoquest II离子束刻蚀系统新整合了一个水冷旋转阶段，一个22厘米RF 离子源，一个不锈钢真空箱，低温高真空泵系统，自动水泵和通风口，高真空计大气，流量控制器，试验箱橱.

高性能:
带有150毫米和100毫米晶圆压盘的Nanoquest是专为较小型号晶圆板批处理加载碳涂层配置所设计。100毫米直径范围内的均匀性为± 3 ％，晶圆与晶圆的可重复性± 2 ％ 。 Nanoquest是您加工的理想平台。
系统配置和布局:
真空箱是运用UHV可兼容装配技术，全部使用不锈钢材料建造而成，其外观经过电抛光处理，整洁，美观。连续的不锈钢冷却管道焊接在箱体外面，成网状，提供高效率的散热片。

离子束刻蚀系统：
◆ 单晶圆负载锁定离子束刻蚀系统可用于最大150毫米的晶圆。
◆ 用户可通过电感耦合等离子体屏栅离子源选择光束电压和电流密度。
◆ 在离子束的运行期间，基板阶段使得水冷系统在积极运作的同时旋转，倾斜。
◆ “低调的”无尘室界面把仪器箱和蚀刻模块放在无尘室墙壁后面。
 

公司介绍：

爱派克公司成立于1999 年，从事国际领先测试技术和产品的代理业务，为国内主要的科研单位、高等院校、检测机构以及为数众多的军工企业、汽车企业、电子企业、装备工业、外资企业、新能源领域提供全球领先的测试产品、检测技术和售后服务。

Excellent 卓越的品质：

“汇集世界- 惠及中国”是爱派克公司的使命，我们致力于引进全球最领先的测试技术和检测设备，形成我们具备核心竞争力的集成解决方案；今天爱派克已经成为八个国家的十多家公司在中国的合作伙伴。这些全球最知名的检测设备制造商采用最新的科技和最先进的设备为中国客户提供最先进的技术和专业的服务，提供高可靠性的产品和解决方案。

Professional 专业的团队：

公司的技术团队由具有海外教育背景的博士、硕士和经过国外厂商专业培训的资深工程师组成，具有极高的专业素质，为重点客户提供长期、专业、全方位的技术服务。

 Comprehensive 全面的服务：

 爱派克公司在北京、上海、广州、西安和香港设有分公司和办事处服务全国用户。公司提供的服务包括：检测咨询、方案设计、实验室规划、产品销售、培训服务、设备维护、升级改造、检测服务；以及根据客户需求进行新产品的研发和定制。

Original 创新的理念：

 创新是企业发展的动力，爱派克公司将厂商、用户融入到公司创新体系中，形成最为和谐的创新利益结合体；通过不断地进行组织创新提供更好的服务团队，产品创新提供最好的设备，服务创新提供更及时的服务，利益链创新能够把厂商、用户和公司有效地链接形成共赢的团体。