离子束反应溅射系统
 

Intlvac的Nanoquest系统是薄膜和材料研究的一个通用研发平台.该系统是直径为4”单基板的最优选择. Nanoquest平台可允许:离子束蚀刻, 离子束溅射,离子辅助蒸发,以及离子辅助溅射都在同一平台 上运行．独特的设计与基板台，允许基板以360度的倾斜和旋转进行冷却或加热。该系统是安装在一个压缩的整块钢架上，钢架上带有一个整体电子机架，以尽量减少实验室或无尘室的空间。高真空的设计理念确保了快速周期时间和最低压力的性能。超高压气体分布确保了离子源操作的稳定性。

高真空泵:
闭合式循环泵与氦低温泵或涡轮增压拖动泵以及干式低真空泵一起使用使得系统实现了完全无油。
标准配置:
·尺寸：直径为20，长为20的气缸，装有铰接前门和焊接不锈钢冷却通道。基板台是安装的门。
·不锈钢架和完整的仪器架。机架固定在触摸屏PLC控制器上，用于自动抽水，压力控制，气体流量控制，以及离子源的操作。
Nanoquest 1400R
·用于反应气体操作的蚀刻系统：O2, N2
·除了为电子源使用一个空心阴极，或等离子中和剂之外，基本与惰性气体系统类似．

Nanoquest 1400
·为惰性气体操作而设计的蚀刻系统
·该系统有用于４，８或者１4厘米离子源，ＤＣ或者１4厘米ＲＦ离子源。
操作的离子源孔.
高流量，直接水冷2704阶段与用于四分之一晶圆和晶圆压板的干夹头安装。0 - 7rpm的阶段旋转，带手动角度倾斜。20 sccm超高压氩气线的气体流量控制。

公司介绍：

爱派克公司成立于1999 年，从事国际领先测试技术和产品的代理业务，为国内主要的科研单位、高等院校、检测机构以及为数众多的军工企业、汽车企业、电子企业、装备工业、外资企业、新能源领域提供全球领先的测试产品、检测技术和售后服务。

Excellent 卓越的品质：

“汇集世界- 惠及中国”是爱派克公司的使命，我们致力于引进全球最领先的测试技术和检测设备，形成我们具备核心竞争力的集成解决方案；今天爱派克已经成为八个国家的十多家公司在中国的合作伙伴。这些全球最知名的检测设备制造商采用最新的科技和最先进的设备为中国客户提供最先进的技术和专业的服务，提供高可靠性的产品和解决方案。

Professional 专业的团队：

公司的技术团队由具有海外教育背景的博士、硕士和经过国外厂商专业培训的资深工程师组成，具有极高的专业素质，为重点客户提供长期、专业、全方位的技术服务。

 Comprehensive 全面的服务：

 爱派克公司在北京、上海、广州、西安和香港设有分公司和办事处服务全国用户。公司提供的服务包括：检测咨询、方案设计、实验室规划、产品销售、培训服务、设备维护、升级改造、检测服务；以及根据客户需求进行新产品的研发和定制。

Original 创新的理念：

 创新是企业发展的动力，爱派克公司将厂商、用户融入到公司创新体系中，形成最为和谐的创新利益结合体；通过不断地进行组织创新提供更好的服务团队，产品创新提供最好的设备，服务创新提供更及时的服务，利益链创新能够把厂商、用户和公司有效地链接形成共赢的团体。