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薄膜沉积系统

发布时间:2012-01-17

 

/Files/UploadFiles/ttmn.COM/2011/11/20111108-032521-469.gif薄膜沉积系统
 

 

Nanochrome TM II 采用了垂直“翻盖式”箱体设计,这使得试验箱的所有部件都很方便操作。水冷却/加热的痕迹(traces)加快抽水次数。在操作的同时,您可用潜望镜装置清晰地观察物理气相沉积的来源。试验箱有几个光学路径,可以观察薄膜增厚的过程,能确保实时测量以及控制光学涂层。
多重处理器选项
硬涂层 用于金属或离子辅助介质,金属的磁控溅射,或通过DC或AC反应溅射脉冲射频,电子束蒸发的,离子协助轻松配置到系统中。
低温运行: 潜在的热核聚变会限制沉积,许多薄膜冷却选项可以帮您增加沉积速率。在沉积薄膜时,使用Intlvac离子束基板台直接冷却基板。 随着冷却液直接在基板下循环,单或双轴自转运转。 高温选件 红外加热元件,石英灯阵列和氧气耐加热元件可供选择,以实现高达800°C温度。
用于辅助、反应性运行和预洗涤的离子源
Intlvac为NCII提供种类繁多的离子源。高光束电流和低能量非常适合薄膜致密,清洁,或辅助大的区域。我们提供的新一代的光源是您涂层的理想选择。终端通道栅格源,与高达10安培的离子电流量,在能量低于300eV 时组成栅格。 提供高达一安培RF源和100-1000eV可选择离子能。

 

 

公司介绍:

爱派克公司成立于1999 年,从事国际领先测试技术和产品的代理业务,为国内主要的科研单位、高等院校、检测机构以及为数众多的军工企业、汽车企业、电子企业、装备工业、外资企业、新能源领域提供全球领先的测试产品、检测技术和售后服务。

Excellent 卓越的品质:

“汇集世界- 惠及中国”是爱派克公司的使命,我们致力于引进全球最领先的测试技术和检测设备,形成我们具备核心竞争力的集成解决方案;今天爱派克已经成为八个国家的十多家公司在中国的合作伙伴。这些全球最知名的检测设备制造商采用最新的科技和最先进的设备为中国客户提供最先进的技术和专业的服务,提供高可靠性的产品和解决方案。

Professional 专业的团队:

公司的技术团队由具有海外教育背景的博士、硕士和经过国外厂商专业培训的资深工程师组成,具有极高的专业素质,为重点客户提供长期、专业、全方位的技术服务。

 Comprehensive 全面的服务:

 爱派克公司在北京、上海、广州、西安和香港设有分公司和办事处服务全国用户。公司提供的服务包括:检测咨询、方案设计、实验室规划、产品销售、培训服务、设备维护、升级改造、检测服务;以及根据客户需求进行新产品的研发和定制。

Original 创新的理念:

 创新是企业发展的动力,爱派克公司将厂商、用户融入到公司创新体系中,形成最为和谐的创新利益结合体;通过不断地进行组织创新提供更好的服务团队,产品创新提供最好的设备,服务创新提供更及时的服务,利益链创新能够把厂商、用户和公司有效地链接形成共赢的团体。