Mercury™1500V 最新数字量输出编码器,半导体处理设备和电子微型显微镜的理想应用

产品信息

新型 Mercury™ 1500V数字输出编码器是用于真空设备最小的高性能数字输出编码器。达到1E-8托，传感器通气，是由适于真空的材料制成，可以持续48小时，1500C预热除气。

Mercury 1500 V 直接从传感器输出A-夸德-B及零位视窗数字输出。所有的电子设备都安装在一个高8.4mm的盒子中。这种传感器的Z向高度很低，使M1500V编码器成为半导体加工设备中运动平台设计的理想设备。电子显微镜及其他需要真空的设备也受益于Mercury1500V的小尺寸和高性能。

Mercury 1500V的小尺寸，低价格会降低运动平台的开支，缩减其尺寸，而重要的是会提高性能。可用分辨率从5μm 到 0.50μm的直线式，或从6,600 CPR到655,000 CPR旋转式。在订购时，只需明确说明厂定细分程度为x4, x8, x20, 或 x40。Mercury1500V是您在设计小尺寸高性能设备策略中不可或缺的部分。

Mercury1500V与该系列光栅编码器有共同的设计目标，那就是方便安装与应用。所有的Mercury编码器的传感器都可与线性或旋转玻璃光栅尺配合使用，这使原始产品制造商可以减少生产和外场支援库存的开销。

大的定位公差是Mercury编码器传感器成为行业中最容易调整的传感器。定位公差可以± 2度，传感器可以30秒内完成调整。这种编码器是最适合用户的。

最后，Mercury1500V编码器具有平稳性。整个系统防电磁干扰，防电噪声，可用于最恶劣环境，可加强整个系统的可靠性，可重复性和精确性。



Mercury™ 1500V规格

• 小传感器具有超低Z向高，平头螺栓安装
  
  
• 传感器：8.4mm (H) x 12.7mm (W) x 20.6mm (L),weight:1.6g
  
  
• A-夸德-B输出和传感器头的双向零位信号
  
  
• 厂定细分程度：x4, x8, x20, x40，分辨率从5μm 到 0.50μm（线性），6,600 CPR到 655,000 CPR（旋转）
  
  
• 系统配有跨线，为客户终端真空室壁做准备
  
  
• 双向零位信号
  
  
• 零位标记在玻璃光栅尺的中间或末端（线性）
  
  
• 真空达到1E-8托

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