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离子束刻蚀系统
亿佩科测试技术(北京)有限公司
2011年11月08日 来源：中国纺机网编辑部
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离子束刻蚀系统
离子束刻蚀系统：
离子束刻蚀系统是为无尘室操作而设计的，Nanoquest II使得蚀刻模块始终呆在无尘室的服务区内。系统元件，如防护物和其他耐用部件，很容易在服务区存取。双门蚀刻模块可以使维修从试验箱的任何一侧开始。UHV设计规则确保该蚀刻模块和负载锁定试验箱有较低的基地压力。高速真空泵不仅提供了快速泵，而且同时也减少了离子束气体的碰撞。
Intlvac 的Nanoquest II离子束刻蚀系统新整合了一个水冷旋转阶段，一个22厘米RF 离子源，一个不锈钢真空箱，低温高真空泵系统，自动水泵和通风口，高真空计大气，流量控制器，试验箱橱.
高性能:
带有150毫米和100毫米晶圆压盘的Nanoquest是专为较小型号晶圆板批处理加载碳涂层配置所设计。100毫米直径范围内的均匀性为± 3 ％，晶圆与晶圆的可重复性± 2 ％ 。 Nanoquest是您加工的理想平台。
系统配置和布局:
真空箱是运用UHV可兼容装配技术，全部使用不锈钢材料建造而成，其外观经过电抛光处理，整洁，美观。连续的不锈钢冷却管道焊接在箱体外面，成网状，提供高效率的散热片。
离子束刻蚀系统：
◆ 单晶圆负载锁定离子束刻蚀系统可用于最大150毫米的晶圆。
◆ 用户可通过电感耦合等离子体屏栅离子源选择光束电压和电流密度。
◆ 在离子束的运行期间，基板阶段使得水冷系统在积极运作的同时旋转，倾斜。
◆ “低调的”无尘室界面把仪器箱和蚀刻模块放在无尘室墙壁后面。