真空等离子清洗机

 公司名称：招远金鹰科技有限公司 

介绍：
 

GDR系列低温等离子表面处理设备由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.02-0.03mbar 的真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态）。高频发生器提供能量使气体电离成等离子态。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。
等离子处理的工艺：
  表面清洗Surface Cleaning
  表面激活Surface Activation
  显微蚀刻Micro Etching
  等离子接枝、聚合Plasma Polymerization
  上述作用离子直接和处理物表面外层10 到1000A 厚度起作用，不影响材料其本身性能。
等离子处理的优点：
  1.环保技术：等离子体作用过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。
  2.广适性：不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理；,
  3.温度低：接近常温，特别适于高分子材料，比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。
  4.功能强：仅涉及高分子材料浅表面（10 -1000A ），可在保持材料自身特性的同时，赋予其一种或多种新的功能；
  5.低成本：装置简单，易操作维修，可连续运行，往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。
  6.处理物几何形状无限制：大或小，简单或复杂，部件或纺织品，均可处理。

  技术参数

  ★设备外形尺寸:

 570(W)×420(D)×740(H)mm
  ★仓体结构:(不锈钢，约20升)

 420(W)×270(D)×170(H)mm
  ★电极面积:3层

 250(W) ×190(D) mm 
  ★清洗模式:

 RIE or DP模式自动转换
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  ★等离子发生器:(台湾)

 频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配
  ★控制系统:

 触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
  ★真空系统:

 德国莱宝(Leybold)真空泵   D30C (37m3/h)

 进口气动角阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器
  ★压力控制:

 PID闭环自动稳压控制
  ★气路系统:

 2路工艺气体+1路氮气配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路