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硅片自动装片机

无锡市彩登试验设备技术有限公司

2011年11月10日  来源:中国纺机网 编辑部

 公司名称:无锡市彩登试验设备技术有限公司 

 

介绍:

概述:

BAM型硅片自动装片机是根据太阳能硅片生产企业实际生产需要设计改进、制造的水床式三工位硅片装片机;一次装片75片。特有的花篮定位治具能适应6吋/8吋硅片的快速转换,操作简单,工作可靠。
技术规格:

结构特点:

◆外壳均采用304不锈钢材料制作,表面磨光处理。外观简洁、流畅
◆工作机器支架及硅片盒夹具均采用耐腐蚀、经特殊亚光电化学处理的不锈钢材料
◆设备配置:磁力驱动循环水泵,水箱总容积0.3m³,硅片水床滑台,滚珠丝杆传动三工位升降花篮座,三菱高分辨率MR-J2S系列伺服电机,三菱可编程序控制器、Autonics传感器,eao按钮
◆125mm~156mm硅片通用,节拍40~60片/min
◆手动调整,自动装片(需人工上料)
◆设备全封闭设计,美观大方;一体式组合脚轮,定位、移动两便
◆管路、水过滤器及阀门等管件均采用304不锈钢材料
控制系统:
◆电器传动系统采用PLC可编程控制器及高分辨率伺服电机;机械传动采用直
线轴承滑块、直线轴及滚珠丝杆副,结构简洁,运动精度高
◆花篮就位检测,装片滞留报警;可防止碎片和放发生故障
◆快换花篮治具,适应随时更换产品;水床滑台、水流助推提高装片可靠性
◆产品执行标准:符合国家相关工业技术标准
安全与保障:
◆无污染物排放
◆电源采用单相三线制,机器必须接地(PE)
◆机、机电安全互锁

 

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