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国内300mmIC生产线自动物料搬运系统研发成功

来源：中国转动网　发布时间：2015年02月28日
由沈阳新松机器人自动化股份有限公司承担的“300mmIC生产线自动物料搬运系统研发与应用”项目在沈阳通过了国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”实施管理办公室组织的验收，标志着国内首套应用于300mmIC生产线自动物料搬运系统研制成功。

该项目由新松公司联合中科院沈阳自动化所、上海集成电路研发中心有限公司等研究院所和企业进行技术攻关，完成了物料控制系统软件、洁净天车、天井式搬运车、洁净立库等核心设备的开发，并完成了自动物料搬运系统的示范应用，实现了洁净物料传输系统装备的国产化，项目合同期内完成了自动物料搬运生产线5条，实现销售收入1.44亿元。

该系统的研制成功打破了国外集成电路装备企业在国内的垄断地位，降低了晶圆制造企业生产成本，加速了我国装备制造业的转型升级。

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